[00062742]一种基于Au诱导的ITO薄膜上制备周期结构的方法
技术详细介绍
一种基于Au诱导的ITO薄膜上制备周期结构的方法，先在玻璃基底上溅射ITO导电薄膜，在ITO导电薄膜表面溅射Au膜，再将玻璃基底固定在三坐标工作台上，三坐标工作台和加工光路系统配合，调节皮秒激光器的输出激光参数，辐照Au膜和ITO薄膜，设定三坐标工作台垂直向运动速度，到达设定位置后，水平向移动，之后于垂直向反方向运动，如此反复，加工路径为一条条首尾相接的线段，从而制作出均匀的大面积周期波纹结构，本发明制作的结构提升了薄膜太阳能电池的发电效率。
