[00062829]基于标准质量块控制测量力的微形貌检测位移传感器系统
技术详细介绍
本发明公开了一种基于标准质量块控制测量力的微形貌检测位移传感器系统，涉及微结构面形质量检测技术领域。所述的传感器系统主要由测头模块、测头支撑模块、位移检测模块、测量力控制模块等组成；所述的测头模块包括探针、探杆、限位机构和轴套，所述的测头支撑模块为磁悬浮轴承，为测头模块提供径向支持力，所述的位移检测模块为一种精密光栅，所述的测量力控制模块主要包括定滑轮机构和标准质量块，通过调节标准质量块的质量来调节测量力。本发明采用标准质量块与定滑轮机构结合的方式提供测量力，能够针对不同被测工件提供不同的测量力，在保证测量力恒定可控的同时，简化了接触式位移传感器的设计结构，提高了对微形貌测量的测量精度。
