[00063215]一种无接触输运与定位平台装置及控制方法
技术详细介绍
本发明公开了一种无接触输运与定位平台装置及控制方法，该装置包括运输平台、位于运输平台下方的固定平台和位于固定平台下方的基座，所述固定平台通过固定平台支撑与基座连接，所述运输平台上设有若干个凹槽，每个凹槽设有进气孔和出气孔，所述进气孔与进气软管连接，进气软管与正压气源连接，所述出气孔与出气软管连接，出气软管与负压气源连接。本发明的一种无接触输运与定位平台装置，由于空气在凹槽内呈水平流动状态，因此，可以最大程度地利用气流粘性力驱动工件运动，获得较大的运动加速度，这可以实现真正意义上的完全无接触，气流与半导体工件接触时不易产生静电污染，接触点附近不易导致应力集中。
