[00063217]一种具有形变检测功能的玻璃基板气浮装置及检测方法
技术详细介绍
本发明公开了一种具有形变检测功能的玻璃基板气浮装置，包括运输平台、固定平台和基座，固定平台通过支撑柱与基座连接，运输平台的两侧设有驱动玻璃基板运动的驱动装置，运输平台上设有若干个均匀排列的输送气孔，在输送气孔的顶端嵌入有烧结金属多孔材料，在输送气孔的底部连接有输气管，输气管通过流量计与减压阀连接，减压阀通过软管与气源连接；所述运输平台每个输送气孔的周围设有至少两个小孔，小孔的底部通过气管与压力传感器连接，压力传感器和流量计的信号输出端与输入转换模块连接。本发明的一种具有形变检测功能的玻璃基板气浮装置，具有清洁无污染、不发热、不生磁等优点，且气动系统较易维持，构建简单。
