[00063480]一种甲基氯硅烷的制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种甲基氯硅烷的制备方法
甲基氯硅烷的制备方法将有机硅单体（CH3）2SiCl2生产过程中产生的低沸物和西门子法生产多晶硅还原工艺中产生的废液混合，以AlCl3为催化剂，在250～400℃下反应合成通式为（CH3）mSiCl4－m的甲基氯硅烷单体，其中m为1～3的正整数。本发明提供的方法不仅生产流程简便易行，易实现工业化，设备投资成本低，操作安全性能稳定，而且具有原料转化率高，产物中（CH3）2SiCl2、（CH3）3SiCl选择性高，产物与催化剂易于分离。
