[00063516]一种超宽带减反膜及其制备方法
技术详细介绍
本发明公开一种超宽带减反膜及其制备方法，包括衬底；衬底表面形成有微孔阵列；微孔阵列上制备有一层ITO纳米线薄膜。本发明利用激光微加工技术在衬底表面制备一定间距阵列的微孔结构，再在其上制备一层氧化铟锡纳米线薄膜，使其完全覆盖微孔阵列。这样的减反膜既具有良好的透过性又兼具良好的导电性，同时实现了400‑2500nm波段(带宽大于5)的有效减反。本发明的制备方法通过对太阳能电池表面的处理，利用微孔阵列结合新型纳米线材料实现超宽带范围内光谱的减反，为太阳能电池效率的提高提供了一种有效的工业级制备手段。
