[00064458]XYθ三自由度大行程高频响精密定位平台
技术详细介绍
XYθ三自由度大行程高频响精密定位平台，包括刚性基底，刚性基底内侧分别和四个双层菱形位移放大机构的外侧固定端连接，四个双层菱形位移放大机构的内侧第一刚性输出端与柔性支链机构连接，柔性支链机构的第二刚性输出端与动平台连接，动平台中心通过螺纹孔刚性连接被驱动对象，动平台、柔性支链机构、双层菱形位移放大机构关于螺纹孔旋转对称；菱形位移放大机构的内侧第一刚性输出端通过矩形梁与刚性基底连接，菱形位移放大机构两侧第一刚性输入端与压电陶瓷连接；整个机构由一块钢板经电火花加工工艺一体化加工而成，机构内部空腔加工通透，空腔内部构件处于悬空状态，本发明可以实现大行程和高带宽的高精度位移输出，结构简单和紧凑。
