[00064459]一种大位移高频响三自由度压电驱动精密定位平台
技术详细介绍
一种大位移高频响三自由度压电驱动精密定位平台，包括刚性基底，刚性基底的两侧和菱形位移放大机构的一个第一刚性输出端连接，菱形位移放大机构的另一个第一刚性输出端和桥形位移放大机构的一个第二刚性输入端连接，菱形位移放大机构的两个第一刚性输入端上连接有压电陶瓷，菱形位移放大机构由柔性臂、两个第一刚性输入端和两个第一刚性输出端连接构成基于三角原理的柔性机构，桥形位移放大机构是由两个柔性梁、两个第二刚性输入端和一个第二刚性输出端组成的“拱桥”形柔性机构，其中两个对称的柔性梁构成桥形位移放大机构的斜边，本发明可以实现大行程和高带宽的高精度位移输出，结构简单和紧凑。
