[00064654]在石英圆管内或外壁镀(类)金刚石薄膜的方法及装置
联系人： 武汉工程大学
所在地： 湖北武汉市
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技术详细介绍
摘要：本发明提供了在石英圆管内外壁镀金刚石或类金刚石薄膜的方法及装置。本方法是先利用微波激励工作气体放电在两个同轴放置的石英圆管之间产生圆筒状的等离子体，再利用等离子体化学气相沉积技术在内石英管的外壁或外石英管的内壁镀金刚石或类金刚石薄膜，所镀的保护膜致密、均匀，附着强度好。本装置包括微波源(1)、微波匹配(2)、波导耦合等离子体反应器(3)和真空系统，所述波导耦合等离子体反应器的结构是：其两端各有法兰和进气、抽气通道；其中部设有金属水冷套(7)和内外石英管，内石英管(11)中间设有铜管(15)；两根石英管之间的空腔为真空室(12)。本装置可以在不同尺寸规格的石英管壁上镀膜。
