[00064655]一种制备金刚石膜的装置及使用该装置制备金刚石膜的方法
联系人： 武汉工程大学
所在地： 湖北武汉市
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技术详细介绍
摘要：本发明提供一种制备金刚石膜的装置，其采用微波等离子体化学气相沉积装置，该装置包括微波系统、真空系统、供气系统和等离子反应室，等离子反应室中设有一自旋转基片台，工作过程中微波系统产生的微波进入等离子反应室，在自旋转基片台上方激发供气系统提供的气体产生等离子体球，在自旋转基片台上方还设有耐高温金属圆环，该耐高温金属圆环位于等离子球内部下半部分。
