[00064699]一种超微器件振动固有频率测试系统及测试方法
技术详细介绍
一种超微器件微小振动固有频率测试系统和方法，该测试系统包括依次连接的信号发生器、功率放大器、激振器、激光位移计组和数字示波器；其中激光位移计组由并联的两个激光探头组成，并事先调整采样频率为所要测量超微器件振动频率范围最高值的四倍以上；本发明还提供上述系统的测试方法，能够对毫米量级微小器件或设备局部微小振动结构振动的固有频率进行检测，可监测的振动位移允许低至几十微米量级。
一种超微器件微小振动固有频率测试系统和方法，该测试系统包括依次连接的信号发生器、功率放大器、激振器、激光位移计组和数字示波器；其中激光位移计组由并联的两个激光探头组成，并事先调整采样频率为所要测量超微器件振动频率范围最高值的四倍以上；本发明还提供上述系统的测试方法，能够对毫米量级微小器件或设备局部微小振动结构振动的固有频率进行检测，可监测的振动位移允许低至几十微米量级。
