[00064853]一种逆向离心提高多晶硅定向凝固提纯得率的设备和方法
技术详细介绍
本发明公开了一种逆向离心提高多晶硅定向凝固提纯得率的设备和方法，所述设备包括炉体，位于所述炉体内的硅料容器，所述硅料容器的侧壁外侧设有与所述炉体固定连接的环形发热体，所述环形发热体外侧设有与所述炉体固定连接的环形加热体，所述硅料容器的下端设有旋转托盘，所述旋转托盘通过连接栓与所述硅料容器的下端固定连接，所述硅料容器的轴线处设有可沿所述硅料容器的轴线上下移动的水冷柱，所述水冷柱内设有循环流道。本发明采用的是逆向凝固方式，在重力作用条件下，保证杂质扩散，同时用离心力保证固液界面扩散层厚度降低，增加其分凝效果。
