[00065143]一种应用于ALD设备的浪涌电流抑制电路
技术详细介绍
本发明提供一种应用于ALD设备的浪涌电流抑制电路，包括电源输入端、单向导通电路、预充电电阻、电子开关、门极电压缓启动电路以及电源输出端，电源输入端与单向导通电路的输入端连接，单向导通电路的输出端与预充电电阻的输入端连接，预充电电阻的输出端与电源输出端连接，单向导通电路的输出端与电子开关的第一输入端连接，电子开关的输出端与电源输出端连接，电源输入端与快速放电电路的输入端连接，快速放电电路的输出端与门极电压缓启动电路的输入端连接，门极电压缓启动电路的输出端与电子开关的第二输入端连接；与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：浪涌电流抑制效果好，能满足频繁上电断电时的浪涌抑制要求；浪涌电流阀值易于配置；相对于集成IC方案具有成本低，可替换型号多，采购方便的优点。
