[00065308]一种基于人字结构的平面三自由度微动装置
技术详细介绍
一种基于人字结构的平面三自由度微动装置
微动装置由柔性铰链、三个相同的压电陶瓷、三个相同的电磁铁分别组成三个机构，其中每一个机构中，压电陶瓷一端和电磁铁紧固连接，另一端被固定于柔性铰链上；三个机构呈三等分圆周角分布，是一个轴对称结构；当该装置放置于金属底面上时，电磁铁起到锁止的作用，压电陶瓷提供输入位移，柔性铰链产生形变，经过对电磁铁和压电陶瓷两端电压的控制，能够实现该装置在金属平面上的三自由度的微小平动和转动；本发明微动装置结构简单，具有锁止功能，作动精准，能够实现在平面内的自由平动和转动。
