[00065618]一种测量力可控的电磁轴承自倾斜式微位移传感器系统
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种测量力可控的电磁轴承自倾斜式微位移传感器系统，涉及微结构面形质量检测技术领域。所述的传感器主要由测头模块、测头支撑模块、位移检测模块、测量力调节模块等组成；所述的测头模块由探针和探杆构成，可跟随被测工件表面的变化而移动，所述的测头支撑模块用来给测头模块提供径向支持力，所述的位移检测模块，用来测量测头的位移信息，所述的测量力调节模块为一种倾斜平台，用来改变测量力。本发明通过调节倾斜平台的倾斜角改变探针与工件之间的测量力，可对测量力进行恒定调控，以保证探针对被测工件表面形貌变化的跟随特性，保护被测样品表面不被探针划伤，并降低探针尖端的磨损和延长其工作寿命。
