[00065673]一种阵列悬臂梁膜结构硅微流量传感器芯片
技术详细介绍
一种阵列悬臂梁膜结构硅微流量传感器芯片，包括外围支撑硅基，外围支撑硅基中部设有两组相对的成阵列布置的硅膜，每一组有四个硅膜，每一硅膜和外围支撑硅基之间通过一个硅悬臂梁相连，每一硅悬臂梁上配置有压阻条，每一组硅悬臂梁的四个压阻条通过引线连接构成惠斯通电桥，硅膜与硅悬臂梁组成的阵列悬臂梁膜结构构成传感器测量部位，硅膜与外围支撑硅基存在间隙以使硅膜悬空，每一组相邻的硅膜之间存在间隙，当流体通过时，进而使得阵列悬臂梁膜结构发生变形，压阻条在硅悬臂梁的应力作用下阻值发生变化，惠斯通电桥失衡，输出一与流体作用相对应的电信号，从而实现传感器芯片对流量的测量，本发明具有体积小、质量小、灵敏度高和自校准的优点。
