[00065679]一种基于飞秒激光直写的光纤法布里‑珀罗传感器的快速制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种基于飞秒激光直写的光纤法布里‑珀罗传感器的快速制备方法，在具有光滑端面的光纤末端利用飞秒激光沿垂直光纤轴线的方向快速扫描，加工出深度到达光纤纤芯位置的狭槽，由狭槽端面和光纤末端的光滑端面构成法布里‑珀罗传感器结构，还可进一步通过镀膜提高F‑P传感器的反射率。该方法不同于传统利用飞秒激光加工技术制备微腔或通孔时应采用慢速加工的方法，而是采用快速扫描，其加工效率非常高，对于1kHz飞秒激光扫描速度在50μm/s以上，加工时间小于1s。与现有技术相比，本发明的加工工序更为简单，加工速度快，适合批量加工，制得的F‑P传感器可在很宽的温度范围内实现高灵敏度、高线性的温度传感。
