[00065698]一种谐振式MEMS全量程倾角传感器
技术详细介绍
一种MEMS谐振式全量程倾角传感器，包括单晶硅基底，单晶硅基底上生长一层二氧化硅绝缘层，二氧化硅绝缘层上设有单晶硅结构层，单晶硅结构层的中心设有悬浮的多边形质量块，质量块通过至少三对微放大梁分别与双端固定谐振音叉的末端相连接，微放大梁、双端固定谐振音叉呈放射状均匀分布，双端固定谐振音叉的两侧设置有驱动端和检测端，双端固定谐振音叉与驱动端、检测端静电耦合，双端固定谐振音叉的顶端与电极相接，本发明利用微放大梁，有效增大器件的灵敏度，提高测量精度；采用均匀分布的双端固定谐振音叉，通过算法可以实现全量程的高精度测量。
