本发明提供一种电感式位移传感器的数据处理方法,能够有效降低系统的计算时间复杂度和存储空间复杂度,数据处理精确,可靠稳定。所述的电感式位移传感器由传感探头和检测电路构成;传感探头包括线圈,检测电路包括与线圈连接形成放电回路的驱动逻辑电路、开关管Mn和限流电阻R,用于采样的模数转换器,用于控制模数转换器采样获取线圈放电波形的驱动电路,以及通过对放电波形计算得到接近距离并输出的计算电路;以下内容中采用简写IPS代表电感式位移传感器,ADC代表控制模数转换器;所述方法包括如下步骤:(1)确定ADC两次采样时间常数;(2)建立高低温查找曲线;(3)建立查找表;(4)IPS在线计算接近距离。