[00066479]光学损伤元件损伤增长的抑制装置和抑制方法
技术详细介绍
摘要：一种光学损伤元件损伤增长的抑制装置和抑制方法，装置包括三维移动控制台、角度调整台、元件夹具、元件清洗槽、超声清洗槽、暗场成像CCD相机组件、刻蚀围栏制作器、第一平移控制台、第二平移控制台、监控CCD、挡光板、显示控制处理系统和塑料毛细管。暗场成像CCD相机组件包括CCD相机、相机镜头和LED环形光源。显示控制处理系统为计算机。通过先在光学元件上制作刻蚀围栏，然后采用塑料毛细管投递高浓度HF对损伤点进行刻蚀。本发明可以用于对各种尺寸光学元件表面损伤的损伤增长的抑制，以提升其抗激光损伤的能力。
