[00066596]激光三维成像MEMS二维扫描镜的转角测量装置及方法
技术详细介绍
本发明涉及一种扫描镜转动角度的测量方法，尤其涉及激光三维成像MEMS二维扫描镜的转角测量装置及方法，该装置包括脉冲激光器以及连续激光器，在脉冲激光器的激光光轴上设置有三号光学镜片，在连续激光器的激光光轴上设置有一号光学镜片；一号光学镜片位于脉冲激光器的激光光轴与连续激光器的激光光轴重合处；在一号光学镜片正后方设置有二维扫描镜；二维扫描镜的反射光路上依次固定有二号光学镜片以及二维PSD，二维PSD的输出端与PSD信号采集电路的输入端连接；光学镜片与采样同步电路的输入端连接，采样同步电路的输出端与PSD信号采集电路的输入端连接。本发明.结构简单，精度较高；实时性强，测量范围大。
