[00066600]一种LC‑SLM误差补偿方法及其非球面面型检测方法

交易价格： 面议

所属行业： 检测仪器

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201610865086.3

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：西安交通大学

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所在地：陕西西安市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明涉及光学非球面精密测量领域，涉及了一种基于LC‑SLM误差补偿和数字相移技术的非球面面型检测方法。利用ZEMAX软件光学追迹得到光学系统的理想波像差，采用一系列正交Zernike多项式表征其波像差，得到对应的计算全息图，并加载到LC‑SLM上，利用残差迭代法，降低了LC‑SLM曲率误差和边缘场效应等因素带来的影响，提高了LC‑SLM的波前模拟精度，结合起补偿作用的会聚透镜和数字相移及干涉条纹分析技术，大大提高了测量的动态范围，可以实现对大非球面度面型的实时检测。

[00066600]一种LC‑SLM误差补偿方法及其非球面面型检测方法

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