[00066632]一种隔断式MEMS引信
技术详细介绍
一种隔断式MEMS引信，包括药剂层，药剂层上部和药剂盖板层通过键合的方式连接，药剂层下部和安保装置层上部通过键合的方式连接，安保装置层下部和加速膛层黏贴，安保装置层包括硅衬底层，二氧化硅层以及可动硅结构层依次制作在硅衬底层上，在可动硅层中制作有四组驱动器，每组驱动器的右、左金属电极分别制作在右、左锚点上，呈阵列的V型热电执行器的两端分别与左、右锚点相连，杠杆的首端通过右柔性梁与中间臂相连，下锚点通过左柔性梁与杠杆的首端相连，隔板位于杠杆的末端并且制作有互锁槽与互锁齿，与相邻隔板对应的互锁齿及互锁槽形成互锁，本发明将MEMS技术应用到引信，具有低成本、高智能、易集成的特点。
