[00067020]一种中温金属有机化学气相沉积TiO2‑Al2O3复合涂层装置及涂覆方法
技术详细介绍
一种中温金属有机化学气相沉积AL2O3‑TiO2复合涂层装置及涂覆方法，采用有机金属化学气相沉积方法和卧式炉装置，使用原料预混合在小型沉积室内部，实现在不锈钢表面，在250‑450℃温度范围内TiO2‑Al2O3复合涂层的致密共沉积，达到抑制不锈钢表面结焦积碳的目的。
一种中温金属有机化学气相沉积AL2O3‑TiO2复合涂层装置及涂覆方法，采用有机金属化学气相沉积方法和卧式炉装置，使用原料预混合在小型沉积室内部，实现在不锈钢表面，在250‑450℃温度范围内TiO2‑Al2O3复合涂层的致密共沉积，达到抑制不锈钢表面结焦积碳的目的。
