[00067173]一种具有损耗补偿功能的有机聚合物高速电光调制器及其制备方法
技术详细介绍
摘要：一种具有损耗补偿功能的有机聚合物高速电光调制器及其制备方法，属于聚合物平面光波导器件及其制备技术领域。是在硅衬底上通过旋涂、光刻、刻蚀等半导体工艺在聚合物下包层上制备出波导凹槽，然后通过旋涂工艺在波导凹槽上涂覆一层有机光放大材料，接下来通过光刻和湿法刻蚀工艺在中间的电光调制区再一次制备出波导凹槽，再将极化聚合物电光材料涂覆在凹槽中作为电光调制区的波导芯层，最后涂覆上包层并对波导进行电场极化，进而制备出对光信号具有损耗补偿功能的高速电光调制器件。本发明所述电光调制器可以同时实现对信号的放大功能，实现传统单一波导器件的多功能化，并且制作方法简单，器件成本低，成品率高，制备速度快，适合大批量生产。
