本实用新型公开了一种制备四甲基二氢二硅氧烷的装置,包括:带有稀盐酸进料口和二甲基氢氯硅烷进料口的水解反应釜;进料口与水解反应釜的出料口连通的相分离装置;设于水解反应釜的出料口与相分离装置的进料口之间管路上的第一控制阀;进料口与相分离装置的有机相出料口连通的水洗釜,水洗釜上带有洗涤水进料口;进料口与水洗釜的出料口连通的精馏装置。利用本实用新型的制备四甲基二氢二硅氧烷的装置时,操作简单,整个制备过程中无需其他有机溶剂,产生的氯化氢可循环套用,粗品经精馏后获得的最终产品四甲基二氢二硅氧烷收率较高,产品质量好,且操作步骤简单,安全性及工艺稳定性都较佳,能耗较低,易于实现工业化。