[00067833]改进型级联阶梯型角反射镜激光干涉仪
技术详细介绍
本实用新型公开了一种改进型级联阶梯型角反射镜激光干涉仪，其中干涉仪包括激光源、分光镜、光电探测器组、阶梯型直角反射镜组、移动直角反射镜与微动平台，其中激光源包括n个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器，阶梯型直角反射镜组由m个阶梯型直角反射镜和m-1个常规直角反射镜配对组成，m≥2，每个阶梯型直角反射镜的反射面为n个阶梯形反射平面，相邻两个反射平面间距为k为自然数；阶梯型直角反射镜组连接微动平台。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯形反射平面高度差值有关，通过微动平台作用，可以进一步测量激光干涉波中未被测量到的小数部分，显著提高测量精度。
