[00067954]拉伸-弯曲复合载荷原位纳米压痕测试装置及方法
技术详细介绍
摘要：本发明涉及一种拉伸-弯曲复合载荷原位纳米压痕测试装置及方法，属于精密科学仪器与材料力学试验机领域。测试装置总体结构为十字分布，由拉伸加载模块、弯曲加载模块和压痕加载模块三部分组成，拉伸加载模块置于中间，弯曲加载模块和压痕加载模块分布于拉伸模块的两侧；拉伸加载模块、弯曲加载模块和压痕加载模块均由驱动组件、传动组件、执行组件、位移信号和力信号精密检测组件组成；所述拉伸加载模块、弯曲加载模块和压痕加载模块的加载力线处在同一平面。可实现对载荷/位移信号的同步采集，对伺服驱动系统的闭环控制。本装置结构小巧，可以与主流光学显微镜兼容，实现对特征尺寸在毫米级以上的宏观试件的多载荷原位测试。
