[00067955]原位微纳米力学测试及刻划加工一体机
技术详细介绍
摘要：本实用新型涉及一种原位微纳米力学测试及刻划加工一体机，属于机电一体化精密科学仪器。其左侧步进电机通过联轴器驱动丝杠螺母，由丝杠螺母带动相关连接件，实现柔性铰链和金刚石压头的粗进给，由压电叠堆驱动柔性铰链实施精密进给。右侧载物台和精密力传感器安装在柔性铰链上，通过螺钉与动子连接，动子两侧薄片状结构与两个柔性铰链输出端间隙配合，动子与导轨滑块连接，两个对称的柔性铰链和导轨安装在尾座上，尾座安装在基座上。优点在于：体积小、结构紧凑，可安装在扫描电子显微镜中实现微纳米压痕、刻划测试。可先进行材料的原位微纳米压痕测试，根据测试结果优化刻划加工工艺，之后依据优化的工艺参数实现刻划加工，最终实现测试加工一体化。
