[00067987]一种硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和碳化硅的回收方法
技术详细介绍
本发明涉及硅晶圆线切割领域，公开了一种硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和碳化硅回收利用的方法，它将单晶硅片加工工艺中的线切割废砂浆先添加降黏剂，进行固液分离得到悬浮液部分和固体颗粒部分。对于悬浮液部分添加助滤剂，然后板框压滤、微孔过滤、中空纤维超滤、离子交换，最后将悬浮液真空蒸馏，回收聚乙二醇。对于固体颗粒依次进行碱反应清洗、水洗塔水洗、离心分离、酸反应清洗、再次水洗塔水洗、离心分离、酸反应清洗、干燥和干法分级，最后得到可循环使用的碳化硅颗粒。
