[00068530]一种直线形微气体传感器
技术详细介绍
摘要：本实用新型涉及一种直线形微气体传感器，衬底Si片的正面生长有前SiO2层，Si片的背面生长有后SiO2层，在前SiO2层的上表面通过磁控溅射、光刻以及腐蚀技术制作出电极形状，两个Pt直线加热电阻和其两端的管脚Ⅰ、管脚Ⅱ、管脚Ⅲ和管脚Ⅳ构成了加热电极，Pt直线电极和管脚Ⅴ为信号测量电极。传感器加热电极设计为上下两直线条状，使得传感器中心区域的磁感应强度因相互抵消而变小，有效地削弱了磁场对测量信号的干扰，且降低了功耗，提高了传感器的整体性能，电极结构也更为简单，简化了制作工艺。
