[00068592]微小空间内表面放电清洗方法和装置
联系人： 西北大学
所在地： 陕西西安市
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技术详细介绍
摘要：本发明涉及微小空间内表面放电清洗方法和装置，包括强场空间容器和真空系统，真空系统包括用于抽真空的抽气装置和用于充入清洗气体的充气装置；抽气装置和充气装置均连接若干个待清洗工件内部的微小空间；待清洗工件置于强场空间容器内；强场空间容器连接用于在其内部空腔内产生电磁场的辐射源。本发明先将待清洗的微小空间内部抽真空，然后向该微小空间内充入清洗气体，将该微小空间处于特高频电磁波的辐射场中，通过辐射源产生的电磁场与清洗气体进行配合，能够使清洗气体直接在待清洗工件内的微小空间内放电并产生等离子体，从而完成对微小空间内部的清洗，除去工件微小空间内的杂质。
