[00068812]一种太阳能吸收膜及其制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种太阳能吸收膜。依次包括底层金属片Cu、吸收层和反应溅射形成的AlN减反射层，吸收层包括若干个吸收周期层，每个周期层包括两层有效吸收层膜，该效吸收层膜从上往下依次为金属层Ni膜和陶瓷吸收层TiNxOy-Ni膜，该金属层Ni膜厚度为5～8nm；还公开了其制备方法，包括底层金属片预处理、沉积吸收层和高真空热退火工序，沉积吸收层工序为采用三靶直流磁控溅射法，以纯度99.9wt%的TiO2、99.99wt%的金属Ni和99.99wt%的金属Al为溅射靶材进行沉积涂层。本发明的太阳能吸收层，采用多级层构与成分梯度的设计思路，使得吸收层兼具多级层构与成分梯度的特点，吸收/发射比达到最优化，还具备耐腐蚀、抗氧化的特性，保证了涂层的工作可靠性，可以进一步提升蓝钛选择吸收涂层的综合性能。
