[00068814]一种太阳能选择吸收复合涂层及其制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种太阳能选择吸收复合涂层，依次包括底层金属片、热扩散阻挡层、吸收层和减反射层，其中热扩散阻挡层为Ta纳米层，吸收层为AlN-Ag纳米层，减反射层为AlN纳米层。本发明还公开了这种涂层的制备方法，包括底层金属片预处理、沉积吸收复合涂层和退火处理工序，其中沉积吸收复合涂层工序为采用三靶室温直流磁控溅射法，以金属Al、Ag和Ta为溅射靶材沉积吸收涂层采用电场进行退火处理。本发明将高熔点金属Ta引入吸收涂层作为扩散阻挡层，显著提高了涂层的热稳性以及界面结合力。采用电场退火对涂层进行处理，提高了涂层的吸收率。本发明操作简单方便，可控性好，清洁无污染，适合大规模产业化。
