[00068879]基于纳米线技术的新型片上集成光耦
联系人： 江南大学
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技术详细介绍
摘要：本发明涉及一种基于纳米线技术的新型片上集成光耦，可以实现光耦在片上系统的集成。本发明主要结构分为发光部分、光波导部分和光敏部分，其特点是发光部分和光敏部分采用纳米线结构的LED和光敏二极管。发光部分的纳米线结构LED在外加电压下可以发光，光敏部分的纳米线结构光敏二极管可以探测到发光部分LED发光的有无，并转化为电流信号，光波导部分对发光部分LED发出的光具有较高透过率。该新型光耦可以通过微纳工艺制备，尺寸不大于100μm，使其具有可集成到片上系统的特点。
