[00070296]一种TiAlN/MoN多层膜复合涂层及其制备方法
技术详细介绍
摘要：本发明提供了一种具有高硬度和优良抗氧化性能以及自润滑性的并且涂层与基体之间表现出良好的结合强度的TiAlN/MoN多层膜复合涂层，所述的TiAlN/MoN多层膜复合涂层由下至上依次为金属结合层、过渡层以及复合多层，其中金属结合层沉积在基体上，金属结合层为TiAl或Mo，所述过渡层为TiAlN或MoN，所述复合多层为TiAlN和MoN交替沉积，其中单层TiAlN的厚度为5～50纳米，单层MoN的厚度为5～50纳米，复合多层的总厚度为1～12微米。本发明还提供了上述TiAlN/MoN多层膜复合涂层的制备方法，其工艺简单、设备常规、生产成本低。
