[00070360]一种低温下氧化锌微纳米线化学气相沉积制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种低温下氧化锌微纳米线化学气相沉积制备方法，先用超声设备洗净硅片或石英玻璃衬底，再将洁净的衬底放入磁控溅射设备或者蒸镀设备中，利用磁控溅射或热蒸镀的方法于衬底上制备一定厚度的微纳米级锌薄膜，将沉积有锌薄膜的衬底硅放置于特有的水平管式炉的气相沉积系统中，抽真空度达到15Pa以下的低真空态，按一定速率升温加热此系统到一定温度，并向此系统通入氧气和氩气或氮气不同气氛比例条件下的热处理，通过控制不同的热处理温度以及混合气流速度得到不同形貌的氧化锌纳米线材料，本发明制备的氧化锌纳米线，微纳米线质量好，制备工艺简单、成本低，在气体探测器、光伏电池领域、催化材料及光电探测器等应用领域前景广阔。
