[00070394]一种低温下硫化锌纳米材料的等离子体气相沉积制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种低温下硫化锌纳米材料的等离子体气相沉积制备方法，将镀有锌薄膜的硅基片或者石英基片与硫粉末同时放置于等离子体管式炉或者方形炉密闭沉积系统中，低温下采用惰性气体进行等离子体放电使气体原子或分子受激发而电离，气体原子或分子电离后具有很强的活性并与锌薄膜和硫粉末经过一系列复杂的物理‑化学反应形成纳米材料的方法，在不同的温度条件、电离功率条件及气体流量下，在镀有锌的硅基片上长出各种形貌的硫化锌纳米材料，其生长温度较低，质量较好，工艺简单，成本低廉且产品性能稳定。
