[00070556]一种用于低压射频放电的石英桶密封结构
技术详细介绍
本发明公开了一种用于低压射频放电的石英桶密封结构，包括石英桶、金属真空室盖板和金属密封顶板，金属真空室盖板上设有第一凹槽，金属密封顶板上设有第二凹槽，石英桶的一端插在第一凹槽内，石英桶的另一端插在第二凹槽内，石英桶的端面与第一凹槽和第二凹槽之间分别设有一矩形密封圈，石英桶的两端分别设有一O形密封圈，O形密封圈分别通过一卡接部抵在金属真空室盖板或金属密封顶板的端面上，金属真空室盖板和金属密封顶板内均设有冷却液循环结构，冷却液循环结构能够冷却石英桶插入到第一凹槽和第二凹槽中的端部。本发明的密封结构可以实现高功率射频放电时装置的连续稳态运行。
