[00072233]具有不同排列方式的异质结构介电薄膜及其制备方法
联系人： 武汉理工大学
所在地： 湖北武汉市
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摘要：本发明公开了一种具有不同排列方式的Ca(Mg1/3Nb2/3)O3/CaTiO3异质结构介电薄膜材料及其制备方法。采用多种不同的复合叠加方式，获得了具有不同相结构和介电性能的异质结构介电薄膜材料，并证明薄膜层的排列方式对异质薄膜的结构与性能有较大影响。在非周期性重复排列方式中，仅有CaTiO3－CaMg1/3Nb2/3O3排列方式的异质介电薄膜具有单一的钙钛矿结构，而且薄膜表面均一致密。周期单元周期性重复排列方式中，改变排列方式不影响薄膜的结构，不同叠层结构均具有单一钙钛矿结构，薄膜表面均一致密。相对于非周期重复排列薄膜，周期单元周期性重复排列方式提高了异质薄膜的介电性能，而介电损耗较低。本发明的CaMg1/3Nb2/3O3/CaTiO3异质结构的介电薄膜，适用于薄膜化与小型化的微波通信领域介质元件。
