本发明属于精密加工技术领域,涉及一种用于平面局部高区域精密研磨装置及参数确定方法,该装置包括电机外壳、减震垫圈、电机、连接块、传递块、密珠轴承、基准块、偏心研磨块、羊毛毡密封圈、精密钢球、压簧;本发明提供了一种以工件表面高点周围较为平坦的区域为基准,通过研磨工艺去除高点的平面精密研磨装置;该研磨装置中采用偏心研磨块作为磨头,减小研磨块的非均匀磨损,提高研磨块工作面的精度;采用T型密珠轴套组成的轴承结构,偏心研磨块高精度回转和轴向限位作用,防止高点区域的过度研磨;该装置具有结构简单、偏心研磨块可更换、操作方便且研磨精度高等优点,能满足超高精度的平面的研磨需求,具有良好的市场应用前景与推广价值。