本发明为一种利用微波等离子体对废气处理的装置,属于环境保护领域。该装置主要包括微波等离子体发生器、待处理气体进入装置、气体检测系统和尾气处理系统;待处理气体以切向气流的方式引入到待处理气体进入装置形成旋转气流经过同轴金属管的间隙,等离子体炬释放的热量通过同轴的内金属管壁传热对通过同轴管间隙的气体预加热,然后经过待处理气体进入装置的开口端加入到微波等离子体发生器放电管出口处,与由微波等离子体发生器气体注入单元注入的涡旋气流放电形成的等离子体炬有效混合,发生化学反应,去除废气。本发明设备投资成本低,体系结构简单,能在降低能耗的情况下维持微波处理废气装置稳定持久运行,提高废气去除效率。