[00072643]一种压电定位装置的振动和非线性抑制方法
技术详细介绍
本发明公开一种压电定位装置的振动和非线性抑制方法，包括：(1)对输入压电定位装置的压电陶瓷的电压信号进行预处理；(2)对压电定位装置进行动力学建模，得出压电定位装置关键参数以及输入电压与输出位移之间的开环传递函数；(3)采用积分反馈方法对压电定位装置进行闭环控制；(4)用设置于压电陶瓷与柔性铰链之间的力传感器的测量值作为反馈量，对压电定位装置进行反馈控制，通过位移传感器对柔性铰链的输出位移进行测量，实现压电定位装置振动和非线性的抑制。本发明不依赖于模型的建模精度，可以同时对振动和非线性进行抑制；满足了现代精密制造对压电定位装置高精度、高跟踪性能的要求，提高了工作效率。
