[00072646]纳米图案化蓝宝石衬底及其制备方法
技术详细介绍
纳米图案化蓝宝石衬底及其制备方法，在蓝宝石衬底表面旋涂负性光刻胶；在光刻胶表面旋涂压印胶；利用柔性模板通过压印在压印胶上产生纳米结构图形并在紫外光下曝光；然后采用干法刻蚀刻蚀压印胶直至暴露部分图案底部的光刻胶上表面；湿法刻蚀光刻胶直至暴露蓝宝石上表面；沉积金属镍；在显影液中去掉剩余的光刻胶，剥离金属镍，在蓝宝石上表面得到金属镍的纳米尺寸图案；以金属镍图案作为掩膜干法刻蚀蓝宝石；最后去掉蓝宝石表面残留的金属镍，完成制备，该衬底是在平面蓝宝石衬底的表面上形成了若干间隔排列的蓝宝石纳米单元。该方法简单易行、成本低、重复性高、可控性强，能够达到提高氮化物外延晶体质量，提高氮化物器件性能的作用。
