[00072650]偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法
技术详细介绍
一种偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法，该偏转装置主要由三个部分组成用于固定安装的底座和固定支座；提供偏转驱动的弹性筝形环和偏转支撑座，以及反射镜承载台、反射镜以及约束反射镜承载台产生偏转位移的柔性铰链和其连接台；本发明使用四个压电陶瓷实现偏转角度的输出控制，具有控制精度高，响应快的特点；压电陶瓷分为两组，采用差动的方式驱动同组的压电陶瓷，即可实现对应的单轴偏转位移，同时驱动四个压电陶瓷即可实现反射镜的双轴偏转；该装置采用反射镜沉降的结构形式，偏转轴相交于反射镜表面，因此减少了偏转时镜面纵向位移所带来的光路控制误差；同时，结构具有低矮、紧凑的结构特征，所需的安装使用空间小。
