[00073221]一种全息制作表面拉曼增强基底的装置
联系人： 苏州大学
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技术详细介绍
摘要：本实用新型公开了一种全息制作表面拉曼增强基底的装置，包括高速旋转涂布机、真空烘箱、全息光刻系统、实时显影装置和镀膜机。利用高速旋转涂布机获得涂满光刻胶的光栅基片；真空烘箱用于烘干、固化光刻胶；使用全息光刻系统使得两束相干光产生干涉，在光刻胶表面记录相干光的干涉条纹，通过控制两束光的角度，精密控制光栅的周期；再通过实时显影在光刻胶表面形成浮雕型光栅；最后在光栅表面用镀膜设备镀一层表面增强拉曼散射金属活性层。解决了用简单设备来得到大面积表面拉曼增强基底时周期性难以精确控制的技术难题。
