[00073224]一种静电拉伸薄膜反射镜的加工装置
联系人： 苏州大学
所在地： 江苏苏州市
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技术详细介绍
摘要：本实用新型涉及一种静电拉伸薄膜反射镜的加工装置，包括薄膜固定装置、电极板、静电高压输出装置；所述的电极板包括中心圆形电极和呈同心圆分布的均等径向宽度的环形电极，环形电极为3～10个；中心圆形电极的半径为环形电极径向宽度的1.5~1.7倍。加工时，将薄膜反射镜中的薄膜周边固定在圆环固定装置上，电极置于薄膜正下方，以中心电极半径的中心处的压强为中心电极区域的压强，以各环形电极径向中心点的压强为该环形电极区域的压强，将各压强转换成电压信号输入到各对应的电极上，经加工成型，得到静电拉伸薄膜反射镜。采用本实用新型提供的静电拉伸薄膜反射镜的加工装置得到的面形，其精度显著提高。
