[00073409]一种中空阴极离子源
技术详细介绍
摘要：本实用新型公开了一种中空阴极离子源
阴极离子源至少包括电子枪、蒸发坩埚、连接螺母和进气管；在电子枪中，灯丝位于上阴极、下阴极及阴极绝缘套构成的中空阴极内，阳极安装于上阴极的上方且与上阴极之间设有间隙；在蒸发坩埚中，加热器套装于坩埚套内，坩埚体位于加热器内，隔热屏套装于坩埚套的外部；坩埚套的下部及阴极套的上部均设有外螺纹，坩埚套的下部与阴极套的上部通过连接螺母连接，坩埚体和加热器的上部连接有进气管。本实用新型阴极离子源提供的离子源便于拆卸、安装、换料、更换受损部件和清洁。
