[00073710]一种基于电致动的变焦微透镜阵列结构和制备工艺
技术详细介绍
一种基于电致动的变焦微透镜阵列结构和制备工艺，结构为“三明治”结构，底层为透明导电电极，中间层为弹性有机透明聚合物层，顶层为柔性导电层；制备工艺是先在导电电极表面制备一层图形化的介电聚合物薄膜层，以此作为诱导模板；然后在透明导电电极表面制备一层弹性有机透明聚合物层，将诱导模板置于弹性有机透明聚合物层上部，施加电压使弹性有机透明聚合物层受到的麦克斯韦应力克服表面张力以及粘滞阻力流变，直至复型过程结束；最后在已成型的弹性有机透明聚合物层表面制备一层导电聚合物水溶液，加热使溶剂挥发，在弹性聚合物薄膜层凹陷部分形成一层柔性导电层，实现变焦微透镜阵列结构灵活、性能优越和工艺简单的有机统一。
