[00073770]一种硅微陀螺的闭环检测系统
联系人： 苏州大学
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技术详细介绍
摘要：本发明涉及一种硅微陀螺的闭环检测系统，由硅微陀螺敏感单元、敏感信号读出接口电路、第一级量化器(多bit的ADC)、基于FPGA的数字信号处理器、反馈电压生成电路(模拟开关)组成。敏感信号读出接口电路将硅微陀螺敏感模态振动信号转换成电压信号，经第一级量化器采样量化输入到FPGA中进行全数字化处理，经相位补偿、环路滤波以及第二级量化变成1bit的数据流，再经过反馈电压生成电路反馈到陀螺的反馈校正电极上，构成一个2+N阶的sigma‑delta闭环检测系统，其中N≥0为环路滤波器的阶数。
